提交申请：企业或个体工商户应当向主管税务机关提交注销税务登记申请，并附送有关资料。

审核：主管税务机关收到申请后，会进行审核，核实企业或个体工商户是否欠缴税款、滞纳金等。

清缴税款：如果企业或个体工商户存在欠缴税款的情况，需要在注销之前先清缴。

缴销发票：注销税务登记时需要缴销发票和其他税务证件。

领取注销证明：当所有手续完成后，企业或个体工商户可以领取注销证明。