提交申请：向主管税务机关提交税控盘注销申请，并附上相关证明材料。

税务审核：税务机关将对纳税人提交的资料进行审核，核实纳税人是否满足注销条件。

数据备份：税务机关使用专用设备读取税控盘中的数据，并进行备份，以确保数据安全。

注销审批：如纳税人满足注销条件，税务机关会予以批准。

设备回收：注销审批通过后，纳税人需要将税控盘设备交回税务机关进行统一处理。税务机关会对设备进行检查，确认设备完好无误后，完成回收程序。